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半导体材料的生产要求极其洁净的空气和特种气体以保证所生产材料的质量和生产过程的平滑、效率。Teledyne API有一个完整系列的工业气体流程仪器，包括这些独特应用中的生产和测量气体仪器。

Teledyne API也提供特种气体仪器，能够减轻或清除这些应用所需的超净气体中的悬浮分子污染。


  臭氧发生器 & 控制器
气体型号量程 
空气冷却的O3发生器AC系列 高达14% w/w 或 200 g/Nm3
水冷高纯度臭氧OG-5000OG-5000-A 210 g/hr
OG-5000-B 150 g/hr
高浓度- 高纯度臭氧输送系统ODS高达 350 g/Nm3
紧凑型高纯度臭氧输送系统Mini ODSO3 浓度超过 320g/Nm3 或 21.0% w/w
​臭氧发生器控制器
SC​I-552​
N/A
   
  特种气体仪器
气体型号量程  
NDIR 监测仪
 (非色散红外法)		OPTI-Sense请查看规格
   
  溶解臭氧仪器
气体型号量程  
溶解臭氧470高达150 mg/L (150 ppmw)
痕量级溶解臭氧dFFOZ-TR0 到 1000 ppbw
  流程臭氧仪器
气体型号量程 
(最小/最大)
低浓度臭氧
安全/流程测量		465L0-1 ppm 到 0-500 ppm
臭氧
 流程测量		4520-5 wt% / 0-20 wt%
   
  臭氧去除器
气体型号量程  
催化臭氧破坏器CAT-03-E,
CAT-03-F,
CAT-03-G		请查看规格
   
  颗粒物仪器
气体型号量程 
(最小/最大)
连续实时颗粒物质量浓度监测T640PM2.5, PM10, PM10-2.5
   
  气体校准仪 & 零气发生器
气体型号量程
(最小/最大)
全部气体T700U可用质量流量控制器: 0-10 cc/min 到 0-20 LPM
T700可用质量流量控制器: 0-10 cc/min 到 0-20 LPM
O3
 臭氧		T703臭氧输出: 50 ppb 到 10 ppm
T703U臭氧输出: 3 ppb 到 10 ppm
T753U臭氧输出: 2 ppb 到 2.5 ppm
   
  含氮化合物仪器
气体型号量程
(最小/最大)
NH3, NO, NO2, NOX
氨气, 一氧化氮, 二氧化氮		T2010-50 ppb / 0-2,000 ppb
   
  含硫化合物仪器
气体型号量程 
(最小/最大)
H2S, SO2
硫化氢, 二氧化硫		T1010-50 ppb / 0-5 ppm
TRS, SO2
总还原硫, 二氧化硫		T1020-50 ppb / 0-10 ppm
TS
 总硫		T108U0-5 ppb / 0-10 ppm
T1080-50 ppb / 0-10 ppm
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​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​Who We Are

Teledyne API, a business unit of Teledyne Technologies Incorporated​ (NYSE:TDY), is a global market leader in air quality and process gas monitoring instrumentation headquartered in San Diego, California, USA.​​

 

 

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Featured Products

N Series Instruments​

N901​ ​​THC-CH4-NMHC Analyzer​​

N500 CAPS True NO2-NOX-NO Analyzer​

T640 PM Mass Monitor​

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