Mini ODS是紧凑的、整合的臭氧输送系统，能够为许多晶元处理应用提供浓度高达 21% w/w, 320g/Nm3的臭氧。该系统虽然使用紧凑型设计，却是一个完整的臭氧输送系统，包含：高浓度臭氧发生器、高浓度臭氧监测仪、基于微处理器的控制器和满足全部要求的调节器和气动装置。

Mini ODS能够拓展支持额外的独立流程臭氧发生器，这些流程可需求不同浓度和不同流量的臭氧。该仪器操作和维护简单，不需求消耗品或预防性维护。

该系统也能与通常湿法工艺中需求的溶解臭氧监分析仪交互。为了更加安全，该系统也能与TAPI的多通道臭氧泄露探测仪和臭氧去除器子系统联锁。