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​SCI-552

臭氧发生器控制器

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SAL000101A - SCI-552.pdfSCI-552 Specification3292 KB
SCI-552 Manual - 08626.pdfSCI-552 Manual1404 KB

维护

应用
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  • ​​​化学气相沉积(CVD)
  • 原子层沉积(ALD)
  • 氧化物生长
  • 表面处理
  • 灰化
  • 粒子清洁
  • 光刻胶去除
  • 其他

规格

SCI 552 Specification.PNG

特征
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  • ​RS-232 MODBUS远程支持
  • 最多控制2台臭氧发生器
  • 最多与2台452和470臭氧测量仪器交互
  • 最多控制4台质量流量控制器
  • 最多控制2台背压控制器
  • 最多控制2个EV阀
  • 最多控制1台水冷却器
  • 系统联锁输入
  • 远程系统级别控制和状态输入/输出

概述
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SCI-552是臭氧输送系统的控制器，能够提供电子控制界面，支持很多通常的臭氧设备，例如：臭氧发生器、EV阀、质量流量控制器、背压控制器、TAPI 452臭氧传感器、 TAPI 470 溶解臭氧传感器和水冷却器。

SCI-552以大量系统联锁功能的硬件和软件支持为特征。SCI-552为终端用户提供灵活性，使得他们能够通过前面板用户界面、MODBUS串行接口或各种离散型数字和模拟输入输出点控制整个系统。SCI-552能够支持两台臭氧发生器并提供两条独立的臭氧输出渠道。



 

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Teledyne API, a business unit of Teledyne Technologies Incorporated​ (NYSE:TDY), is a global market leader in air quality and process gas monitoring instrumentation headquartered in San Diego, California, USA.​​

 

 

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