Specialty Process Gas Monitors
​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​ Conta​​​ct us
Traini​ng
Sales Contacts
Request a Quote
Terms & Conditions
​​ ​
​​

 OPTI-Sense 系列

非色散红外监测仪


特征


  • 非色散红外技术
  • 适用于任何吸收红外光的气体(SiF4, SiF3, CO, CO2, CF4, SF6, NF3, WF6 和其他气体)​
  • 响应时间快
  • 高敏感度
  • 种类明确
  • 无消耗品
  • 无移动部件
  • GUI LabView软件(可选)

维护



 

  ​

下载

  
  
  
SAL000096A - NDIR.pdfOPTI-Sense Specification2939 KB

规格



NDIR Specification2.PNG

概述


OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上,能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。该仪器设计紧凑,且无移动部件,适合在半导体工业流程中用于连续的现场气体监测。

内置的诊断系统包含在软件当中。全部OPTI-Sense系列传感器都配有模拟和数字交互,使得它们可以简单的整合进任何工业流程。