OPTI-Sense 系列
OPTI-Sense系列传感器建立在非色散红外测量法基础上,能够精确测量半导体应用中产生的特种气体的红外光谱吸收。该仪器设计紧凑,且无移动部件,适合在半导体工业流程中用于连续的现场气体监测。
内置的诊断系统包含在软件当中。全部OPTI-Sense系列传感器都配有模拟和数字交互,使得它们可以简单的整合进任何工业流程。
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