半导体材料的生产要求极其洁净的空气和特种气体以保证所生产材料的质量和生产过程的平滑、效率。Teledyne API有一个完整系列的工业气体流程仪器,包括这些独特应用中的生产和测量气体仪器。

Teledyne API也提供特种气体仪器,能够减轻或清除这些应用所需的超净气体中的悬浮分子污染。


  臭氧发生器 & 控制器
气体型号量程 
臭氧发生器控制器
SC​I-552​
N/A
   
  特种气体分析仪
气体型号量程  
NDIR 监测仪
(非色散红外法)
OPTI-Sense请查看规格
   
  溶解臭氧分析仪
气体型号量程  
溶解臭氧470高达150 mg/L (150 ppmw)

  过程臭氧分析仪
气体型号量程 
(最小/最大)
低浓度臭氧
安全/过程测量
465L0-1 ppm 到 0-500 ppm
低浓度臭氧
安全/过程测量​​
​480L
0-1 ppm 到 0-500 ppm​​
臭氧
过程测量
4520-5 wt% / 0-20 wt%
   
  臭氧破坏器
气体型号量程  
催化臭氧破坏器CAT-03-E,
CAT-03-F,
CAT-03-G
请查看规格
   
  颗粒物分析仪
气体型号量程 
(最小/最大)
连续实时颗粒物质量浓度监测T6​40PM2.5, PM10, PM10-2.5
   
  气体校准仪 & 零气发生器
气体型号量程
(最小/最大)
全部气体T700U可用质量流量控制器: 0-10 cc/min 到 0-20 LPM
T700可用质量流量控制器: 0-10 cc/min 到 0-20 LPM
O3
臭氧
T703臭氧输出: 50 ppb 到 10 ppm
T703U臭氧输出: 3 ppb 到 10 ppm
T753U臭氧输出: 2 ppb 到 2.5 ppm
   
  含氮化合物分析仪
气体型号量程
(最小/最大)
NH3, NO, NO2, NOX
氨气, 一氧化氮, 二氧化氮
T2010-50 ppb / 0-2,000 ppb
   
  含硫化合物分析仪​
气体型号量程 
(最小/最大)
H2S, SO2
硫化氢, 二氧化硫
T1010-50 ppb / 0-5 ppm
TRS, SO2
总还原硫, 二氧化硫
T1020-50 ppb / 0-10 ppm
TS
总硫
T108U0-5 ppb / 0-10 ppm
T1080-50 ppb / 0-10 ppm
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