Dissolved Ozone Instruments
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470

溶解臭氧分析仪


特征

 

  • 管路内,全流量

  • 现场监测

  • 直流流型

  • 无移动部件

  • 无消耗​品

  • 量程高达150 mg/L

  • 远程零点校准

  • 高精度的紫外吸收法

  • 双光道采样感应技术

  • 无需周期性维护

  • 半导体级别湿材料

  • 紧凑的特氟隆外壳

  • 特氟隆7包裹的内部连接电缆

维护

参考手册章节5

 

 

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下载

  
  
  
470 Manual - 08681.pdf470 Manual574 KB
SAL000103A - 470.pdf470 Specification3460 KB
SAL000103B - IN USA_470_Dissolved Ozone.pdf470 Specification1560 KB
SAN18-0002A - APPNOTE 470 Wetbench.pdfMonitoring Dissolved Ozone Concentration in Semiconductor Wet Benches Using the 470232 KB

规格

​​470.PNG

应用

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  • 液态溶解臭氧
  • 半导体湿法系统​
  • 超净水系统
  • 制药业
  • 水处理应用
  • 其他工业流程

概述

 

作为先进的溶解臭氧测量模块,470为半导体湿法处理和许多其他工业过程所设计。它能够进行去离子水或硫酸​的​浓度高达150mg/L的溶解臭氧测量。470已完成“预备清洁”,能够满足高纯度半导体过程的需求,并且可简单的直接拼接进湿法处理的最高高达150 SLPM流速的环流回路中。

470型传感器使用双路取样传感技术,性能高且摆脱了对参比液体测量的需求。

典型安装包括470传感器和特氟龙7包裹的内部连接电缆。470传感器能够通过模拟或数字信号向湿法处理过程控制台远程报告测量的浓度。​



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