Ozone Generators
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 OG-5000 系列

  高纯度水冷臭氧发生器


特征


  • ​高纯度臭氧
  • 高臭氧浓度
  • 价格低
  • 无消耗品
  • 设计紧凑，模块化
  • 经过验证的技术

维护

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下载
  
  
  
ESD Fundamentals - 04786.pdfFundamentals of Electro-Static Discharge (ESD)216 KB
OG5000.pdfOG-5000 Manual529 KB
SAL000099C - OG-5000.pdfOG-5000 Specification1775 KB
SAL000099C-CN OG-5000.pdfOG-5000规格 (Chinese Specification)1962 KB
SAL000107B - Industrial Gas Instruments Overview.pdfIndustrial Gas Instruments Overview545 KB

规格
OG-5000.PNG

应用

 

  • 半导体
    • 化学气相沉积 (CVD)
    • 原子层沉积 (ALD)
    • 氧化物生长
    • 表面处理
    • 粒子清洁
    • 光刻胶去除
    • 灰化
    • 其他


概述

OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中对高浓度洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿法处理过程中。

OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧破坏器中。该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。​

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​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​关于我们

Teledyne API是气体质量监测和工业流程气体监测仪器的全球市场领导者​，​​我们的总部位于加尼福尼亚州圣地亚哥。 ​

 

 

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