催化臭氧破坏器

Catalytic Ozone Destructs

CAT-O3 系列

特征

参考手册第五章。

Type	Title	File Size
	CAT-O3 Specification	1739 KB
	CAT-O3 Chinese Specification	3098 KB

化学气相沉积硅酸乙酯/臭氧

原子层沉积

有机金属化合物化学气相沉积

灰化器

湿台流程

喷涂工具

其他

CAT-O3系列臭氧破坏器能够安全地分解高浓度臭氧到亚ppm浓度级，远远低于推荐的安全臭氧浓度。该仪器使用金属氧化物被动催化臭氧转化为氧气。

CAT-O3系列臭氧破坏器的外壳由不锈钢焊接而成，并配有热屏蔽层。该设备的设计能够满足行业内严格的安全标准。

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