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 OG-5000 系列

  高纯度水冷臭氧发生器


特征


  • ​高纯度臭氧
  • 高臭氧浓度
  • 价格低
  • 无消耗品
  • 设计紧凑，模块化
  • 经过验证的技术

维护

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下载
  
  
  
OG50000.pdfOG5000 Manual529 KB
OG-B-1-S Model 5000 Addendum - 1106.pdfOG5000 Manual Addendum for Model OG-B-1-S56 KB
SAL000099A - OG-5000.pdfOG-5000 Specification3079 KB

规格
OG5000 Specification.PNG

应用

 

  • 半导体
    • 化学气相沉积 (CVD)
    • 原子层沉积 (ALD)
    • 氧化物生长
    • 表面处理
    • 粒子清洁
    • 光刻胶去除
    • 灰化
    • 其他


概述

OG-5000系列臭氧发生器是为满足半导体工业中生产高浓度的洁净臭氧的需求而设计的，可应用于化学气相沉积、原子层沉积、氧化物生长和湿台流程中。

OG-5000系列设计紧凑，使用水冷系统，能够简便的整合进TAPI的臭氧系统控制器、臭氧泄露探测器、臭氧浓度监测器和臭氧去除器中。该仪器经过验证的技术使得它可广泛应用于半导体流程中。


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​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​​Who We Are

Teledyne API, a business unit of Teledyne Technologies Incorporated​ (NYSE:TDY), is a global market leader in air quality and process gas monitoring instrumentation headquartered in San Diego, California, USA.​​

 

 

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