Catalytic Ozone Destructs
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 CAT-O3 系列

  催化臭氧破坏器​

特征


  • 全焊接结构
  • 完全独立
  • 反应时间快
  • 无消耗品
  • 无需维护
  • 安装简单

维护

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参考手册第五章。

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SAL000100A - CAT-03.pdfCAT-03 Series Specification3375 KB

规格
CATO3 Specification.PNG

应用

 

  • 半导体
    • 化学气相沉积 硅酸乙酯/臭氧
    • 原子层沉积
    • 有机金属化合物化学气相沉积
    • 灰化器
    • 湿台流程
    • 喷涂工具
    • 其他

概述


CAT-O3系列臭氧破坏器能够安全的分解高浓度臭氧到亚ppm浓度级，远远低于推荐的安全臭氧浓度。该仪器使用金属氧化物被动催化臭氧转化为氧气。

CAT-O3系列臭氧破坏器的外壳由不锈钢焊接而成，并配有热屏蔽层。该仪器的设计能够满足行业内严格的安全标准。


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Teledyne API, a business unit of Teledyne Technologies Incorporated​ (NYSE:TDY), is a global market leader in air quality and process gas monitoring instrumentation headquartered in San Diego, California, USA.​​

 

 

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